一种粗精动叠层工作台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310153408.8

申请日：

2013-04-27

公开(公告)号：

CN103383526B

公开(公告)日：

2013-11-06

发明(设计)人：

张鸣朱煜成荣刘召杨开明徐登峰田丽张利叶伟楠张金穆海华尹文生胡金春赵彦坡秦慧超胡清平

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-30	授权	授权
2013-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101547930874 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013101534088 申请日:20130427
2013-11-06	公开	公开
2016-01-13	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101726515883 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2013101534088 变更事项:专利权人变更前:清华大学变更后:清华大学变更事项:地址变更前:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更后:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更事项:专利权人变更前:北京华卓精科科技有限公司变更后:北京华卓精科科技股份有限公司

共 50 条

[1]

一种带激光干涉仪测量的粗精动叠层工作台 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

杨开明 ;

成荣 ;

刘召 ;

刘昊 ;

徐登峰 ;

张利 ;

田丽 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

胡金春 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

赵彦坡 ;

秦慧超 ;

胡清平 .

中国专利 :CN103226296A ,2013-07-31

[2]

叠层工作台 [P].

沈兴祥 ;

谢健 .

中国专利 :CN105415303A ,2016-03-23

[3]

叠层工作台 [P].

沈兴祥 ;

谢健 .

中国专利 :CN205238003U ,2016-05-18

[4]

一种叠层工作台 [P].

徐卫平 .

中国专利 :CN109048407A ,2018-12-21

[5]

一种六自由度微动工作台 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

田丽 ;

张利 ;

秦慧超 ;

王平安 ;

刘召 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

胡金春 ;

尹文生 .

中国专利 :CN102880009A ,2013-01-16

[6]

叠压工作台及叠压机 [P].

刘洋 ;

马红雷 ;

张世强 ;

杨志 .

中国专利 :CN115195264B ,2024-01-19

[7]

叠片工作台 [P].

叶斌 ;

龚策 ;

丁祖威 ;

张彤 ;

周帅 .

中国专利 :CN222562435U ,2025-03-04

[8]

工作台（精修） [P].

李强 ;

黄瑞昊 ;

潘捷 .

中国专利 :CN309221845S ,2025-04-08

[9]

一种可收叠工作台 [P].

洪波 .

中国专利 :CN203210349U ,2013-09-25

[10]

工作台(四层) [P].

沈贤法 ;

丁建华 ;

陈旭韦 .

中国专利 :CN300888567D ,2009-03-04

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