一种用于双面曝光机的台框传动机构

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专利类型
实用新型
申请号
CN201721203499.1
申请日
2017-09-20
公开(公告)号
CN207164466U
公开(公告)日
2018-03-30
发明(设计)人
张方德 谢桂平
申请人
申请人地址
325025 浙江省温州市海洋科技创业园C2幢1层
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
代理机构
温州金瓯专利事务所(普通合伙) 33237
代理人
林岩龙
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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