剥离方法及剥离装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480067374.3

申请日：

2014-12-01

公开(公告)号：

CN105793957A

公开(公告)日：

2016-07-20

发明(设计)人：

山崎舜平铃木邦彦

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县厚木市

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L21336 H01L29786 H01L5150 H05B3310

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

叶晓勇;姜甜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-03	授权	授权
2016-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101692764818 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2014800673743 申请日:20141201
2016-07-20	公开	公开

共 50 条

[1]

剥离装置及剥离方法 [P].

张伟 .

中国专利 :CN110690158B ,2020-01-14

[2]

剥离装置及剥离方法 [P].

上野博之 ;

川越理史 ;

柳田隆明 ;

正司和大 ;

增市干雄 .

中国专利 :CN104802498A ,2015-07-29

[3]

剥离装置及剥离方法 [P].

阿部浩幸 ;

川合涉史 ;

大泽曜彰 ;

由良友和 ;

朝仓円 .

中国专利 :CN104924732B ,2015-09-23

[4]

剥离装置及剥离方法 [P].

张敏 .

中国专利 :CN113086739B ,2021-07-09

[5]

剥离装置及剥离方法 [P].

远藤幸一郎 .

中国专利 :CN102666333B ,2012-09-12

[6]

剥离方法及剥离装置 [P].

上野美佳 .

中国专利 :CN105729981A ,2016-07-06

[7]

剥离装置及剥离方法 [P].

重松英树 ;

齐藤正史 ;

宫下圭太 ;

坂本隆三 ;

宫岛宏行 ;

驹村彰夫 .

中国专利 :CN107845983A ,2018-03-27

[8]

剥离辅助构件、剥离装置及剥离方法 [P].

阿部浩幸 ;

川合涉史 ;

小盐智 ;

小柳德英 ;

芝田祥司 ;

由良友和 ;

张兆冈 ;

林大钧 .

中国专利 :CN104460099B ,2015-03-25

[9]

剥离装置及衬底剥离设备 [P].

邱成峰 ;

蔡政银 ;

姜建兴 .

中国专利 :CN221827905U ,2024-10-11

[10]

薄片剥离装置及剥离方法 [P].

加藤秀昭 .

中国专利 :CN101998929A ,2011-03-30

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