使用外延生长的膜形成方法及外延生长装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480013791.X

申请日：

2014-03-13

公开(公告)号：

CN105190841B

公开(公告)日：

2015-12-23

发明(设计)人：

冈部晃森义信

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2120

IPC分类号：

H01L21324 H01L2102

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101655078408 IPC(主分类):H01L 21/20 专利申请号:201480013791X 申请日:20140313
2019-01-18	授权	授权
2015-12-23	公开	公开

共 50 条

[1]

使用外延生长的膜形成方法及外延生长装置 [P].

冈部晃 ;

森义信 .

中国专利 :CN112981525A ,2021-06-18

[2]

使用外延生长的膜形成方法及外延生长装置 [P].

冈部晃 ;

森义信 .

中国专利 :CN110067021A ,2019-07-30

[3]

使用外延生长的膜形成方法及外延生长装置 [P].

冈部晃 ;

森义信 .

中国专利 :CN107523860A ,2017-12-29

[4]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN119685923A ,2025-03-25

[5]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118814269A ,2024-10-22

[6]

外延生长方法及外延生长装置 [P].

刘晨阳 ;

王力 .

中国专利 :CN119640396A ,2025-03-18

[7]

外延生长装置和外延生长方法 [P].

费璐 ;

林志鑫 ;

曹共柏 ;

王华杰 ;

董晨华 ;

季文明 .

中国专利 :CN110685009A ,2020-01-14

[8]

外延生长方法及外延膜 [P].

屈鹏霏 ;

金鹏 ;

王镇 ;

韩煦 ;

王占国 .

中国专利 :CN117373904A ,2024-01-09

[9]

外延膜层的生长方法及外延膜层的生长装置 [P].

张磊 ;

董信国 ;

储郁冬 ;

贾超超 .

中国专利 :CN118685855A ,2024-09-24

[10]

基座、外延生长装置及外延生长方法 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118996624A ,2024-11-22

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