一种用于蓝宝石晶片检测的样品卡盘支撑装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620364523.9

申请日：

2016-04-27

公开(公告)号：

CN206479463U

公开(公告)日：

2017-09-08

发明(设计)人：

李洪亮张俊宝刘浦锋宋洪伟陈猛

申请人：

申请人地址：

201604 上海市松江区石湖荡镇养石路88号

IPC主分类号：

G01N2187

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N 21/87 变更事项:专利权人变更前:上海超硅半导体有限公司变更后:上海超硅半导体股份有限公司变更事项:地址变更前:201604 上海市松江区石湖荡镇养石路88号变更后:201604 上海市松江区石湖荡镇养石路88号
2017-09-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于蓝宝石晶片的抛光设备 [P].

胡明理 ;

李业林 ;

李宗谚 ;

詹经略 .

中国专利 :CN205520877U ,2016-08-31

[2]

一种用于蓝宝石晶片加工的研磨装置 [P].

袁培雄 ;

姜虽节 ;

王新明 .

中国专利 :CN221313786U ,2024-07-12

[3]

用于蓝宝石晶片研磨砂的过滤装置 [P].

张俊 ;

傅林坚 ;

孙明 ;

朱春芬 ;

江厚祥 ;

周维 ;

蔡浩龙 .

中国专利 :CN208663468U ,2019-03-29

[4]

一种用于蓝宝石晶片粗磨的砂轮 [P].

刘建博 .

中国专利 :CN208543377U ,2019-02-26

[5]

一种蓝宝石晶片检测装置 [P].

周良海 .

中国专利 :CN209698712U ,2019-11-29

[6]

一种用于蓝宝石晶片的抛光设备 [P].

王慧芳 ;

林传宝 .

中国专利 :CN214980116U ,2021-12-03

[7]

一种用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置 [P].

朱亮 ;

曹建伟 ;

孙明 ;

傅林坚 ;

于江忠 ;

吴文泉 ;

董炯杰 .

中国专利 :CN206153185U ,2017-05-10

[8]

一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置 [P].

刘晓强 .

中国专利 :CN207155572U ,2018-03-30

[9]

蓝宝石晶片厚度检测装置 [P].

杨国峰 ;

杨文娟 .

中国专利 :CN204194310U ,2015-03-11

[10]

一种用于蓝宝石晶片清洗工艺的载具 [P].

饶桥兵 ;

钟耀辉 ;

胡智敏 .

中国专利 :CN208245242U ,2018-12-18

← 1 2 3 4 5 →