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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-06-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 申请日:20091209 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101265309790 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2009102316968 |
| 2014-05-07 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700597151 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2009102316968 申请公布日:20110615 |
| 2012-04-11 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101327130024 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2009102316968 变更事项:申请人 变更前权利人:无锡华润上华半导体有限公司 变更后权利人:无锡华润上华科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:214061 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 变更后权利人:214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 变更事项:共同申请人 变更前权利人:无锡华润上华科技有限公司 变更后权利人:无 登记生效日:20120305 |
| 2011-06-15 | 公开 | 公开 |