硅片制绒槽均匀加热装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110046638.5

申请日：

2011-02-22

公开(公告)号：

CN102157619A

公开(公告)日：

2011-08-17

发明(设计)人：

吴旻

申请人：

申请人地址：

213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H05B378 C30B3310

代理机构：

常州市维益专利事务所 32211

代理人：

周祥生

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-17	公开	公开
2015-08-26	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101719667576 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2011100466385 申请公布日:20110817
2012-11-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101343911722 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2011100466385 申请日:20110222

共 50 条

[1]

硅片制绒槽均匀加热装置 [P].

吴旻 .

中国专利 :CN202034396U ,2011-11-09

[2]

一种硅片制绒槽加热装置 [P].

宁佐强 ;

何鹏 ;

莫计亨 .

中国专利 :CN214529326U ,2021-10-29

[3]

硅片制绒槽隔液式均匀加热装置 [P].

吴旻 .

中国专利 :CN202034397U ,2011-11-09

[4]

硅片制绒槽隔液式均匀加热装置 [P].

吴旻 .

中国专利 :CN102157620A ,2011-08-17

[5]

硅片制绒系统 [P].

武慧亮 ;

聂大小 .

中国专利 :CN209282227U ,2019-08-20

[6]

一种制绒机高温槽及包括其的硅片制绒系统装置 [P].

陈龙 .

中国专利 :CN216250763U ,2022-04-08

[7]

一种均匀反应的制绒槽 [P].

蒋雪丽 ;

杨益华 ;

李健 .

中国专利 :CN220796667U ,2024-04-16

[8]

HJT制绒槽反应装置 [P].

周文彬 ;

李世磊 ;

郑严严 ;

李钊 .

中国专利 :CN217035659U ,2022-07-22

[9]

一种单晶硅片制绒添加剂的加热装置 [P].

陈熙泽 .

中国专利 :CN223118589U ,2025-07-18

[10]

一种多晶硅片制绒装置 [P].

傅华 ;

高小云 ;

刘兵 ;

金炳生 .

中国专利 :CN211897171U ,2020-11-10

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