光刻机及光刻机用上版夹具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420726857.7

申请日：

2014-11-27

公开(公告)号：

CN204215146U

公开(公告)日：

2015-03-18

发明(设计)人：

杜武兵林伟孙多卫

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区朗山路１６号华瀚创新园办公楼Ｄ座１０２

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

深圳市维邦知识产权事务所 44269

代理人：

黄莉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-18	授权	授权
2018-11-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20141127 授权公告日:20150318 终止日期:20171127

共 50 条

[1]

一种光刻机用上版夹具 [P].

张俊杰 .

中国专利 :CN210954607U ,2020-07-07

[2]

一种光刻机用上版夹具 [P].

王伟 .

中国专利 :CN211015013U ,2020-07-14

[3]

一种光刻机用上版夹具 [P].

杨光宇 .

中国专利 :CN212873191U ,2021-04-02

[4]

一种光刻机用上版夹具 [P].

吴建栋 ;

周伟旭 .

中国专利 :CN208888580U ,2019-05-21

[5]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[6]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

[7]

安德烈·伊万金 ;

贾里德·A·玛格林 .

中国专利 :CN213240799U ,2021-05-18

[8]

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN215219413U ,2021-12-17

[9]

光刻机照明系统及光刻机 [P].

金成昱 ;

金帅炯 ;

梁贤石 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

刘金彪 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114675494A ,2022-06-28

[10]

一种光刻机框架及光刻机 [P].

张瑞平 ;

杨玉杰 .

中国专利 :CN209149068U ,2019-07-23

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