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纳米压印用光固化性组合物
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680024507.8
申请日：
2016-05-20
公开(公告)号：
CN107533957A
公开(公告)日：
2018-01-02
发明(设计)人：
山本拓也
藤川武
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
H01L21027
IPC分类号：
B29C5902
C08G5924
代理机构：
北京坤瑞律师事务所 11494
代理人：
张平元
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-01-02 | 公开 | 公开 |
| 2018-11-16 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/027 申请公布日:20180102 |