一种新型薄膜制备工艺及真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111203385.8

申请日：

2021-10-15

公开(公告)号：

CN113913787A

公开(公告)日：

2022-01-11

发明(设计)人：

姜翠宁李小彭高文波

申请人：

申请人地址：

314499 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路6号4幢

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

C23C1652

代理机构：

中山卓融知识产权代理事务所(普通合伙) 44791

代理人：

彭国军;赵钊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/448 申请日:20211015
2022-01-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种新型真空镀膜设备 [P].

姜翠宁 ;

李小彭 ;

高文波 .

中国专利 :CN216404532U ,2022-04-29

[2]

一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法 [P].

李星 ;

张灵朝 ;

范斌宏 .

中国专利 :CN113969397A ,2022-01-25

[3]

真空镀膜设备 [P].

王昆 .

中国专利 :CN209555362U ,2019-10-29

[4]

一种真空镀膜设备 [P].

金世成 ;

云洋 ;

苏建华 .

中国专利 :CN221988667U ,2024-11-12

[5]

一种真空镀膜设备 [P].

刘彬 .

中国专利 :CN210420124U ,2020-04-28

[6]

一种真空镀膜设备 [P].

金世成 ;

云洋 ;

苏建华 .

中国专利 :CN118007110A ,2024-05-10

[7]

一种新型带钢真空镀膜设备及工艺 [P].

郭锦龙 ;

王殿儒 ;

程云立 ;

付久龙 ;

武金魁 .

中国专利 :CN111118456A ,2020-05-08

[8]

一种真空镀膜舱及真空镀膜设备 [P].

冯荣达 ;

朱宇彬 ;

张德云 .

中国专利 :CN222100140U ,2024-12-03

[9]

新型真空镀膜设备 [P].

秦康生 ;

陈荣发 ;

吴宝伟 ;

陆素梅 .

中国专利 :CN201746584U ,2011-02-16

[10]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775B ,2024-09-13

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