抛光垫修整装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN200520121407.6
申请日
2005-12-30
公开(公告)号
CN2868553Y
公开(公告)日
2007-02-14
发明(设计)人
魏昕 熊伟 袁慧 胡伟
申请人
申请人地址
510090广东省广州市东风东路729号
IPC主分类号
B24B5312
IPC分类号
B24B5302
代理机构
广州粤高专利代理有限公司
代理人
林丽明
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
抛光垫修整装置及修整方法 [P]. 
魏昕 ;
熊伟 ;
袁慧 ;
胡伟 .
中国专利 :CN1792553B ,2006-06-28
[2]
一种抛光垫双面修整装置 [P]. 
李加海 ;
谭鸿 .
中国专利 :CN214560050U ,2021-11-02
[3]
抛光垫修整装置 [P]. 
袁巨龙 ;
陶黎 ;
邓乾发 ;
陈锋 ;
杨翊 ;
方海生 ;
王志伟 ;
吕冰海 .
中国专利 :CN201115932Y ,2008-09-17
[4]
抛光垫修整装置 [P]. 
袁巨龙 ;
陶黎 ;
邓乾发 ;
陈锋 ;
杨翊 ;
方海生 ;
王志伟 ;
吕冰海 .
中国专利 :CN100546770C ,2008-04-30
[5]
抛光垫修整装置和抛光垫修整方法 [P]. 
王浩 .
中国专利 :CN117718887A ,2024-03-19
[6]
一种抛光垫修整装置 [P]. 
刘昊 .
中国专利 :CN213004676U ,2021-04-20
[7]
抛光垫修整装置和抛光垫修整方法 [P]. 
郑凯铭 .
中国专利 :CN111775044A ,2020-10-16
[8]
化学机械抛光抛光垫修整装置 [P]. 
钟旻 .
中国专利 :CN203542368U ,2014-04-16
[9]
抛光垫修整器、抛光垫修整装置及抛光系统 [P]. 
姚力军 ;
大岩一彦 ;
相原俊夫 ;
潘杰 ;
王学泽 .
中国专利 :CN104209864A ,2014-12-17
[10]
抛光垫的修整方法、修整装置、抛光垫及双面抛光装置 [P]. 
白宗权 ;
具成旻 ;
崔世勋 ;
李昀泽 .
中国专利 :CN109551360B ,2019-04-02