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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-10-14 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721907175 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2009100415121 申请日:20090729 授权公告日:20110105 登记生效日:20150905 解除日:无 |
| 2022-02-22 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20090729 授权公告日:20110105 终止日期:20130729 |
| 2014-10-29 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706719381 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2009100415121 申请日:20090729 授权公告日:20110105 登记生效日:无 解除日:20140905 |
| 2014-01-01 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101684092396 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2009100415121 申请日:20090729 授权公告日:20110105 登记生效日:20131205 解除日:无 |
| 2011-01-05 | 授权 | 授权 |
| 2021-10-26 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20090729 授权公告日:20110105 解除日:20210905 |
| 2010-04-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001109358 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2009100415121 申请日:20090729 |
| 2015-10-14 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721907174 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2009100415121 申请日:20090729 授权公告日:20110105 登记生效日:无 解除日:20150905 |
| 2014-10-29 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706719383 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2009100415121 申请日:20090729 授权公告日:20110105 登记生效日:20140905 解除日:无 |
| 2010-02-24 | 公开 | 公开 |