一种制备周期性V形纳米硅槽的倍频方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210332334.X

申请日：

2012-09-10

公开(公告)号：

CN102856166B

公开(公告)日：

2013-01-02

发明(设计)人：

戴隆贵丁芃陈弘贾海强王文新

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村南三街八号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L21033 B82Y4000

代理机构：

北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390

代理人：

王艺

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-02	公开	公开
2015-07-29	授权	授权
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101395929860 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:201210332334X 申请日:20120910

共 50 条

[1]

一种简单制备有序V形纳米硅孔阵列的方法 [P].

戴隆贵 ;

丁芃 ;

陈弘 ;

贾海强 ;

王文新 .

中国专利 :CN102856165B ,2013-01-02

[2]

一种连环纳米锥周期性阵列制备方法 [P].

赵晓宇 ;

安彤舸 ;

温嘉红 ;

张鉴 ;

郭筱洁 ;

王雅新 ;

钟家松 ;

张永军 .

中国专利 :CN114315416A ,2022-04-12

[3]

一种制备周期性弧状三角形纳米孔阵列的方法 [P].

宋璐涛 ;

张一超 ;

张晓旭 .

中国专利 :CN117509536A ,2024-02-06

[4]

一种周期性碗状结构模板及其制备方法 [P].

李海鸥 ;

徐文俊 ;

李思敏 ;

李琦 ;

首照宇 ;

高喜 ;

肖功利 .

中国专利 :CN104986725A ,2015-10-21

[5]

一种周期性碗状结构模板的制备方法 [P].

张晓旭 .

中国专利 :CN118239445A ,2024-06-25

[6]

一种周期性碗状结构模板的制备方法 [P].

张晓旭 .

中国专利 :CN118239445B ,2025-03-21

[7]

一种制备硅纳米结构的方法 [P].

张仁平 ;

张杨 ;

杨富华 .

中国专利 :CN101759140B ,2010-06-30

[8]

一种光子晶体中纳米直孔周期性阵列制备方法 [P].

葛道晗 ;

张金花 ;

钱栋梁 ;

张立强 ;

程广贵 .

中国专利 :CN106226865A ,2016-12-14

[9]

一维聚合物周期性微结构的制备方法 [P].

卢明辉 .

中国专利 :CN103569952B ,2014-02-12

[10]

一种周期性网状结构模板及其制备方法 [P].

张晓旭 ;

张一超 ;

宋璐涛 .

中国专利 :CN117888089A ,2024-04-16

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