准差分电容式MEMS压力传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520364824.7

申请日：

2015-05-29

公开(公告)号：

CN204881958U

公开(公告)日：

2015-12-16

发明(设计)人：

郑国光

申请人：

申请人地址：

261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号

IPC主分类号：

G01L912

IPC分类号：

代理机构：

北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442

代理人：

马佑平;王昭智

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-16	授权	授权
2020-07-03	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01L 9/12 登记生效日:20200612 变更事项:专利权人变更前权利人:歌尔股份有限公司变更后权利人:歌尔微电子有限公司变更事项:地址变更前权利人:261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号变更后权利人:266104 山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
2016-09-21	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101739122163 IPC(主分类):G01L 9/12 专利号:ZL2015203648247 变更事项:专利权人变更前:歌尔声学股份有限公司变更后:歌尔股份有限公司变更事项:地址变更前:261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号变更后:261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号

共 50 条

[1]

准差分电容式MEMS压力传感器及其制造方法 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN104848982B ,2015-08-19

[2]

一种差分电容式MEMS压力传感器及其制造方法 [P].

朱恩成 .

中国专利 :CN115452207A ,2022-12-09

[3]

一种差分电容式MEMS压力传感器 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN204964093U ,2016-01-13

[4]

一种高精度差分电容式MEMS压力传感器 [P].

陶启 ;

李中元 ;

陈李 ;

杨军 .

中国专利 :CN222318294U ,2025-01-07

[5]

电容式压力传感器 [P].

李刚 ;

胡维 .

中国专利 :CN202420729U ,2012-09-05

[6]

电容式MEMS压力传感器 [P].

夏长奉 ;

周国平 ;

钱栋彪 .

中国专利 :CN104515640A ,2015-04-15

[7]

一种差分电容式压力传感器 [P].

曹英杰 ;

丁康晋 ;

赵恒硕 .

中国专利 :CN223050759U ,2025-07-01

[8]

MEMS电容式压力传感器 [P].

威廉·弗雷德里克·亚德里亚内斯·贝什林 ;

马丁·古森思 ;

约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克 ;

皮特·杰勒德·斯蒂内肯 ;

奥拉夫·温尼克 .

中国专利 :CN103308239A ,2013-09-18

[9]

MEMS电容式压力传感器 [P].

朱继东 ;

张仁富 .

中国专利 :CN108663141A ,2018-10-16

[10]

一种电容式压力传感器 [P].

余辉洋 .

中国专利 :CN205102961U ,2016-03-23

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