一种真空镀膜机用基片翻转装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201820766836.6
申请日
2018-05-22
公开(公告)号
CN208201116U
公开(公告)日
2018-12-07
发明(设计)人
柳一民 王静辉
申请人
申请人地址
243000 安徽省马鞍山市雨山区郑蒲港新区联合路成都机械电子创业园5#厂房
IPC主分类号
C23C1450
IPC分类号
代理机构
合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120
代理人
童强
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种便于基片翻转的真空镀膜机 [P]. 
俞秀杰 .
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一种便于基片翻转的真空镀膜机 [P]. 
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施恩 ;
沈琪 ;
孙阳 ;
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[3]
一种真空镀膜机用基片翻转装置 [P]. 
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闫海 ;
陈巍 ;
路文一 .
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[4]
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[5]
翻转装置及真空镀膜机 [P]. 
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胡东旭 ;
龙汝磊 ;
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[6]
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刘同坤 ;
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
一种真空镀膜机用镀膜基片旋调装置 [P]. 
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安建昊 ;
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许帮洪 ;
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