一种用于盘形分子泵的抽气圆盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN87208695.X

申请日：

1987-06-03

公开(公告)号：

CN87208695U

公开(公告)日：

1988-09-14

发明(设计)人：

王孝珍朱岳竺长新

申请人：

申请人地址：

北京海淀区中关村

IPC主分类号：

F04B3714

IPC分类号：

代理机构：

中国科学院专利事务所

代理人：

李红

法律状态：

授权

国省代码：

引用

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1989-07-12	授权	授权
1988-09-14	公开	公开
1993-03-10	专利权的终止专利权有效期届满	专利权的终止专利权有效期届满

共 50 条

[1]

复合分子泵的牵引抽气盘 [P].

刘安良 ;

唐洪 ;

范林东 ;

靳毅 ;

李金鑫 .

中国专利 :CN101709715A ,2010-05-19

[2]

复合分子泵的牵引抽气盘 [P].

刘安良 ;

唐洪 ;

范林东 ;

靳毅 ;

李金鑫 .

中国专利 :CN201615077U ,2010-10-27

[3]

盘形涡轮分子泵 [P].

朱岳 ;

王孝珍 ;

竺长新 .

中国专利 :CN1009297B ,1988-12-21

[4]

一种盘形涡轮复合分子泵 [P].

朱岳 ;

王孝珍 ;

竺长新 .

中国专利 :CN1013050B ,1988-12-21

[5]

一种用于MPCVD设备的分子泵抽气模块 [P].

刘小利 .

中国专利 :CN206555146U ,2017-10-13

[6]

一种分子泵真空抽气装置 [P].

苏贵方 .

中国专利 :CN202048001U ,2011-11-23

[7]

高流量多级盘形分子泵 [P].

储继国 ;

孙云龙 ;

徐礼霸 .

中国专利 :CN85105304B ,1986-09-03

[8]

一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构 [P].

孙坤 ;

张世伟 ;

李海涛 ;

张志军 ;

韩进 ;

李雅洁 .

中国专利 :CN108953177A ,2018-12-07

[9]

一种分子泵拖动盘 [P].

邹蒙 ;

李明月 .

中国专利 :CN201461510U ,2010-05-12

[10]

一种分子泵机组抽气口调节装置 [P].

王鹏 ;

陈行 ;

黄莉 ;

庞雄 .

中国专利 :CN220869673U ,2024-04-30

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