探针诱导表面等离子体共振耦合的光刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710173060.3

申请日：

2007-12-26

公开(公告)号：

CN101216674A

公开(公告)日：

2008-07-09

发明(设计)人：

徐文东唐晓东李小刚洪小刚赵成强王阳

申请人：

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01N1316 G01N1310 G12B2102 G12B2106

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-07-09	公开	公开
2010-01-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2008-09-03	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

探针诱导表面等离子体共振光刻装置 [P].

赵成强 ;

徐文东 ;

洪小刚 ;

李小刚 ;

唐晓东 .

中国专利 :CN201293916Y ,2009-08-19

[2]

探针诱导表面等离子体共振光刻装置及其光刻方法 [P].

赵成强 ;

徐文东 ;

洪小刚 ;

李小刚 ;

唐晓东 .

中国专利 :CN101408736A ,2009-04-15

[3]

表面等离子体共振曝光光刻方法 [P].

叶志成 ;

郑君 .

中国专利 :CN101441411B ,2009-05-27

[4]

一种表面等离子体共振耦合光学元件 [P].

许吉英 ;

陈义 .

中国专利 :CN103728280B ,2014-04-16

[5]

使用耦合表面等离子体的表面等离子体共振生物传感器 [P].

拉塞尔·W·格鲁克 .

中国专利 :CN101008615A ,2007-08-01

[6]

表面等离子体共振传感系统 [P].

郭安波 ;

曾祥龙 ;

丁鹏 ;

朱军帅 .

中国专利 :CN221707289U ,2024-09-13

[7]

表面等离子体共振传感系统 [P].

郭安波 ;

朱军帅 .

中国专利 :CN222259101U ,2024-12-27

[8]

表面等离子体共振传感系统 [P].

曾祥龙 ;

丁鹏 ;

郭安波 .

中国专利 :CN220671271U ,2024-03-26

[9]

用于表面等离子体共振的样品保持器以及等离子体波导共振设备 [P].

茅又生 ;

徐守文 ;

张菡 ;

王颋 .

美国专利 :CN118613710A ,2024-09-06

[10]

表面等离子体共振传感器用芯片和表面等离子体共振传感器 [P].

松下智彦 ;

山下英之 ;

西川武男 ;

中村惠子 ;

莲井亮介 ;

青山茂 .

中国专利 :CN101395462A ,2009-03-25

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