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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-05-06 | 授权 | 授权 |
| 2013-02-27 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101522997190 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2008200957910 变更事项:专利权人 变更前:深圳市矽电半导体设备有限公司 变更后:深圳市矽电半导体设备有限公司 变更事项:地址 变更前:518000 广东省深圳市龙岗区留学生创业园1栋412室 变更后:518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道中心城龙城工业园路3号特发龙飞E栋创业大厦二楼 |
| 2018-08-17 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20080725 授权公告日:20090506 |