DMD投影光路激光直写倾斜双面曝光系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620065117.2

申请日：

2016-01-22

公开(公告)号：

CN205539927U

公开(公告)日：

2016-08-31

发明(设计)人：

王翰文赵华张伟徐巍马汝治

申请人：

申请人地址：

221399 江苏省徐州市邳州市经济开发区华山路

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

徐州市三联专利事务所 32220

代理人：

周爱芳

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:江苏影速光电技术有限公司变更后:江苏影速集成电路装备股份有限公司变更事项:地址变更前:221399 江苏省徐州市邳州市经济开发区华山路变更后:221000 江苏省徐州市邳州市恒山路西侧
2022-12-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20160122 授权公告日:20160831 终止日期:20220122
2016-08-31	授权	授权

共 50 条

[1]

DMD投影光路激光直写倾斜双面曝光系统 [P].

王翰文 ;

赵华 ;

张伟 ;

徐巍 ;

马汝治 .

中国专利 :CN205539928U ,2016-08-31

[2]

一种DMD投影光路激光直写垂直双面曝光系统 [P].

赵华 ;

张伟 ;

徐巍 ;

王翰文 ;

马汝治 .

中国专利 :CN105487349A ,2016-04-13

[3]

DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统 [P].

马汝治 ;

赵华 ;

张伟 ;

徐巍 ;

王翰文 .

中国专利 :CN205507355U ,2016-08-24

[4]

DMD投影光路垂直线阵的激光直写垂直双面曝光系统 [P].

马汝治 ;

赵华 ;

张伟 ;

徐巍 ;

王翰文 .

中国专利 :CN205539926U ,2016-08-31

[5]

多排交叉布置DMD投影的激光直写双面曝光系统 [P].

张伟 ;

赵华 ;

徐巍 ;

王翰文 ;

马汝治 .

中国专利 :CN205608391U ,2016-09-28

[6]

DMD投影激光直写垂直双面曝光装置 [P].

张伟 ;

赵华 ;

徐巍 ;

王翰文 ;

马汝治 .

中国专利 :CN205539923U ,2016-08-31

[7]

激光直写倾斜双面曝光装置 [P].

徐巍 ;

赵华 ;

张伟 ;

王翰文 ;

马汝治 .

中国专利 :CN205539921U ,2016-08-31

[8]

激光直写曝光系统 [P].

陈铁玉 ;

王章 ;

欧志朋 .

中国专利 :CN118567197A ,2024-08-30

[9]

一种激光直写垂直双面曝光系统 [P].

赵华 ;

张伟 ;

陈旻峰 .

中国专利 :CN105068387A ,2015-11-18

[10]

激光直写垂直双面曝光装置 [P].

徐巍 ;

赵华 ;

张伟 ;

王翰文 ;

马汝治 .

中国专利 :CN205539922U ,2016-08-31

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