一种用于电子气体三氟化氮中的杂质组分分析系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011130084.2

申请日：

2020-10-21

公开(公告)号：

CN112268970A

公开(公告)日：

2021-01-26

发明(设计)人：

李朝清王祥科李建浩

申请人：

申请人地址：

201700 上海市青浦区徐泾镇华徐公路719号6幢2层1号门

IPC主分类号：

G01N3002

IPC分类号：

G01N3020 G01N3060

代理机构：

上海海贝律师事务所 31301

代理人：

宋振宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-26	公开	公开
2021-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 30/02 申请日:20201021

共 50 条

[1]

一种用于电子气体一氟甲烷中的杂质组分分析系统 [P].

李朝清 ;

王祥科 ;

李建浩 .

中国专利 :CN112697904B ,2021-04-23

[2]

一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统 [P].

李朝清 ;

王祥科 ;

李建浩 .

中国专利 :CN112268971A ,2021-01-26

[3]

一种用于电子气体乙硅烷中的杂质组分分析系统 [P].

吕舜 ;

武建鹏 ;

倪珊珊 ;

王巍 ;

齐航 ;

郭君 ;

李稣领 ;

王睿童 .

中国专利 :CN120275552A ,2025-07-08

[4]

一种八氟丙烷杂质组分分析系统及方法 [P].

李朝清 ;

王富德 ;

李建浩 .

中国专利 :CN117330666A ,2024-01-02

[5]

一种超纯氨气中烃类组分分析系统 [P].

李朝清 ;

王富德 ;

李建浩 .

中国专利 :CN117330667A ,2024-01-02

[6]

一种液体和气体中微量永久性杂质气体组分分析检测系统及其检测方法 [P].

兰淑惠 ;

江荆 ;

任鹏炜 ;

梁家铭 ;

吴雪英 ;

魏雅娟 ;

叶德均 .

中国专利 :CN119470686A ,2025-02-18

[7]

一种六氟化硫氮气混合气体分解产物分析系统 [P].

陈英 ;

马凤翔 ;

赵跃 ;

程伟 ;

徐霄筱 ;

刘添天 ;

袁小芳 ;

房超 ;

刘新云 .

中国专利 :CN213933728U ,2021-08-10

[8]

一种三氟化磷的杂质组分分析系统及方法 [P].

李建浩 ;

王祥科 .

中国专利 :CN120577418A ,2025-09-02

[9]

一种电子级三氟化氮气体的水分分析系统 [P].

焦培培 ;

杨亚琴 ;

张景利 ;

付梦月 ;

张亚平 ;

左风雪 .

中国专利 :CN206818664U ,2017-12-29

[10]

一种羰基硫合成提纯工艺气体组分分析系统 [P].

金向华 ;

魏入铎 ;

张燕 ;

孙猛 ;

夏致远 ;

许军州 ;

金小贤 .

中国专利 :CN207636547U ,2018-07-20

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