加热装置和真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121148667.8

申请日：

2021-05-26

公开(公告)号：

CN214991841U

公开(公告)日：

2021-12-03

发明(设计)人：

左国军梁建军候岳明朱海剑

申请人：

申请人地址：

213133 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号

IPC主分类号：

C23C1646

IPC分类号：

C23C1650 C23C1652

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343

代理人：

尚志峰;王淑梅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

用于真空镀膜的加热装置及真空镀膜设备 [P].

杨恺 ;

林海天 ;

岑红师 ;

李立升 .

中国专利 :CN220520599U ,2024-02-23

[2]

用于PECVD设备的加热装置和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 .

中国专利 :CN214313146U ,2021-09-28

[3]

真空镀膜设备 [P].

王昆 .

中国专利 :CN209555362U ,2019-10-29

[4]

真空镀膜腔室和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 ;

杨虎 .

中国专利 :CN216006008U ,2022-03-11

[5]

真空镀膜设备的密封结构和真空镀膜设备 [P].

王志海 ;

邝斌 ;

陈金良 ;

齐鹏飞 ;

赖新暖 .

中国专利 :CN213624365U ,2021-07-06

[6]

真空镀膜腔和真空镀膜设备 [P].

杨恺 ;

林海天 ;

李立升 ;

刘贵 ;

董得平 .

中国专利 :CN114875381A ,2022-08-09

[7]

用于真空镀膜设备的加热装置 [P].

廖良生 ;

李述汤 .

中国专利 :CN101550532A ,2009-10-07

[8]

真空镀膜的加热装置 [P].

王朝阳 ;

郭磊 ;

周佳 .

中国专利 :CN203938724U ,2014-11-12

[9]

真空镀膜机加热设备及真空镀膜机 [P].

蒋贵霞 ;

贾建国 .

中国专利 :CN210856320U ,2020-06-26

[10]

一种加热装置及真空镀膜设备 [P].

杨恺 ;

林海天 ;

李立升 ;

岑洪师 .

中国专利 :CN217757623U ,2022-11-08

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