一种扩散炉管抽气管路

被引：0

申请号：

CN202221753557.9

申请日：

2022-07-08

公开(公告)号：

CN217997413U

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

付洪涛

申请人：

申请人地址：

224000 江苏省盐城市经济技术开发区漓江路88号

IPC主分类号：

C30B3116

IPC分类号：

H01L3118

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种扩散进气管路 [P].

何海涛 .

中国专利 :CN217809782U ,2022-11-15

[2]

一种新型抽气管路 [P].

郑佳彤 .

中国专利 :CN204922337U ,2015-12-30

[3]

一种单向流通抽气管路 [P].

林嘉佑 .

中国专利 :CN220579381U ,2024-03-12

[4]

一种扩散炉管尾气排放管 [P].

唐振 ;

杜乃生 ;

李军勇 ;

陶龙忠 .

中国专利 :CN218478825U ,2023-02-14

[5]

一种新型抽气管路 [P].

郑佳彤 .

中国专利 :CN106287084A ,2017-01-04

[6]

真空系统抽气管路除湿排水装置 [P].

古正宇 ;

何芬 ;

彭平 ;

段玮 ;

金鸿峰 ;

周毅 ;

张志勇 ;

喻金成 ;

杨东 ;

贺仁福 ;

杨东甫 .

中国专利 :CN211624882U ,2020-10-02

[7]

一种扩散炉管 [P].

郭城 ;

吕明 ;

纪大鹏 ;

赵海玲 ;

徐明星 ;

郭英云 .

中国专利 :CN203530504U ,2014-04-09

[8]

一种扩散炉管 [P].

卢德闯 .

中国专利 :CN218175209U ,2022-12-30

[9]

一种扩散用的扩散炉管 [P].

晏文春 ;

党继东 .

中国专利 :CN207002872U ,2018-02-13

[10]

一种用于抽气管路预制的模拟工装 [P].

郑寿清 ;

姬家雄 ;

唐双喜 ;

张璐军 .

中国专利 :CN209698874U ,2019-11-29

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