利用四氯化硅对生产多晶硅所产生的尾气进行回收的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710119744.5

申请日：

2007-07-31

公开(公告)号：

CN101357292B

公开(公告)日：

2009-02-04

发明(设计)人：

沈祖祥严大洲汤传斌肖荣晖毋克力

申请人：

申请人地址：

100038 北京市海淀区复兴路12号

IPC主分类号：

B01D5314

IPC分类号：

C01B33107 C01B3303

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

廖元秋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-04	授权	授权
2009-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-02-04	公开	公开

共 50 条

[1]

回收处理生产多晶硅所产生的尾气的方法 [P].

沈祖祥 ;

严大洲 ;

汤传斌 ;

肖荣晖 ;

毋克力 .

中国专利 :CN101376078A ,2009-03-04

[2]

回收生产多晶硅所产生的尾气的方法 [P].

沈祖祥 ;

严大洲 ;

汤传斌 ;

肖荣晖 ;

毋克力 .

中国专利 :CN101377376B ,2009-03-04

[3]

多晶硅副产物四氯化硅的回收利用方法 [P].

牟浩斌 ;

易家宝 ;

邹振 .

中国专利 :CN102286152A ,2011-12-21

[4]

多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔 [P].

沈晓明 .

中国专利 :CN201309832Y ,2009-09-16

[5]

多晶硅副产物四氯化硅的回收利用方法 [P].

牟浩斌 ;

易家宝 ;

邹振 .

中国专利 :CN101708851A ,2010-05-19

[6]

从生产多晶硅所产生的尾气中回收氢气的方法 [P].

沈祖祥 ;

严大洲 ;

汤传斌 ;

肖荣晖 ;

毋克力 .

中国专利 :CN101327912B ,2008-12-24

[7]

从生产多晶硅所产生的尾气中回收氯化氢的方法 [P].

严大洲 ;

毋克力 ;

肖荣晖 ;

汤传斌 ;

杜俊平 .

中国专利 :CN102229422A ,2011-11-02

[8]

多晶硅副产品四氯化硅的回收利用方法 [P].

李绍通 .

中国专利 :CN101481114A ,2009-07-15

[9]

一种从生产多晶硅所产生的尾气中循环回收氯化氢的方法 [P].

沈祖祥 ;

严大洲 ;

汤传斌 ;

肖荣晖 ;

毋克力 .

中国专利 :CN101357288B ,2009-02-04

[10]

从生产多晶硅所产生的尾气中回收氯化氢的方法 [P].

沈祖祥 ;

严大洲 ;

汤传斌 ;

肖荣晖 ;

毋克力 .

中国专利 :CN101357287B ,2009-02-04

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