用于去除污染物粒子的系统、光刻设备、用于去除污染物粒子的方法以及用于制造器件的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180013373.7

申请日：

2011-03-03

公开(公告)号：

CN102918461A

公开(公告)日：

2013-02-06

发明(设计)人：

V·伊万诺夫 P·安齐费罗夫 Y·西杰尔尼科夫 L·斯卡克卡巴拉兹 H·尼尔霍夫 A·亚库宁埃里克·伦洛夫·卢布斯卓 V·Y·拜尼恩 R·J·布鲁尔斯

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

吴敬莲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

光刻设备以及去除污染物的方法 [P].

A·M·C·P·德琼 ;

H·詹森 ;

J·C·J·范德东克 ;

H·戈特 ;

J·H·范德伯格 .

中国专利 :CN101727017A ,2010-06-09

[2]

用于去除污染物的方法 [P].

延斯·奥尔席姆克 .

中国专利 :CN102143788A ,2011-08-03

[3]

用于去除污染物的材料、用于去除污染物的过滤器和用于去除污染物的装置 [P].

池相旼 ;

李弦哲 ;

权赫载 ;

梁东植 .

中国专利 :CN113274871A ,2021-08-20

[4]

去除污染物的方法 [P].

G·瓦仁 ;

Y·卢西亚 ;

C·凯姆佩 ;

M·斯图克基 .

中国专利 :CN105452291B ,2016-03-30

[5]

去除污染物的方法 [P].

R·R·古曼 ;

R·H·M·赫罗尔德 ;

T·拉斯特 ;

B·J·M·曼尚德 ;

C·J·史密特 .

中国专利 :CN101175547B ,2008-05-07

[6]

去除污染物的方法 [P].

G·瓦仁 ;

Y·卢西亚 ;

C·凯姆佩 ;

M·斯图克基 .

中国专利 :CN109701004B ,2019-05-03

[7]

用于去除油中污染物的方法 [P].

谭毅 .

中国专利 :CN101511987A ,2009-08-19

[8]

用于从废气中去除污染物的方法 [P].

N·J·苏查克 .

中国专利 :CN105050687B ,2015-11-11

[9]

用于从气体流去除污染物的方法 [P].

N·苏查克 .

中国专利 :CN103429313B ,2013-12-04

[10]

去除污染物的系统和方法 [P].

约翰·E.·塞尔吉 ;

约翰·戈德罗 ;

威廉·古德温 ;

奥列格·P.·基什科维奇 ;

德文·A.·金基德 .

中国专利 :CN101072620A ,2007-11-14

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101434002385 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011800133737 申请日:20110303
2015-06-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101716601501 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011800133737 申请公布日:20130206
2013-02-06	公开	公开