氧化镁薄膜的制作方法及处理板

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专利类型
发明
申请号
CN201280043872.5
申请日
2012-03-09
公开(公告)号
CN103781949B
公开(公告)日
2014-05-07
发明(设计)人
须崎友文 细野秀雄 藤桥忠弘 户田喜丈
申请人
申请人地址
日本埼玉县
IPC主分类号
C30B2916
IPC分类号
B01D5302 B01D5304 B01J2004 B01J2034 B01J2110 C23C1408
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
蒋亭
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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