一种用于光刻设备的新型视觉系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210179959.7
申请日
2012-06-01
公开(公告)号
CN102722087A
公开(公告)日
2012-10-10
发明(设计)人
梅文辉 杜卫冲 曲鲁杰
申请人
申请人地址
528400 广东省中山市火炬开发区张家边明珠路3号之一
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
G02B2710
代理机构
中山市科创专利代理有限公司 44211
代理人
谢自安
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种视觉系统 [P]. 
梅文辉 ;
杜卫冲 ;
曲鲁杰 .
中国专利 :CN202693995U ,2013-01-23
[2]
视觉系统、安装视觉系统的方法和制造视觉系统的方法 [P]. 
L·佩雷格瑞诺 ;
K·万梅兹 ;
S·桑迪 ;
F·高斯塔迪尼 .
中国专利 :CN101730896B ,2010-06-09
[3]
一种视觉系统 [P]. 
蒋寓文 ;
傅正明 .
中国专利 :CN115118895B ,2025-04-29
[4]
一种视觉系统 [P]. 
蒋寓文 ;
傅正明 .
中国专利 :CN115118895A ,2022-09-27
[5]
标定车辆视觉系统的方法和车辆视觉系统 [P]. 
K.纳特罗什威利 ;
K-U.肖勒 ;
J.夸斯特 .
中国专利 :CN102982526A ,2013-03-20
[6]
用于汽车车辆的视觉系统 [P]. 
W·张 ;
余浩 ;
B·J·胡夫纳格尔 .
中国专利 :CN110949365A ,2020-04-03
[7]
一种用于首件检测的头部视觉系统 [P]. 
吴复树 ;
陈万幸 .
中国专利 :CN118570532A ,2024-08-30
[8]
一种用于印刷字符缺陷检测的视觉系统 [P]. 
黄健 ;
刘蓓阳 .
中国专利 :CN217911633U ,2022-11-29
[9]
视觉系统的安装方法和视觉系统的安装装置 [P]. 
韩鹏 .
中国专利 :CN120224003A ,2025-06-27
[10]
一种运用视觉系统检测系统 [P]. 
陈伟扬 ;
李卓卿 .
中国专利 :CN205720024U ,2016-11-23