一种红外热成像快速无损检测薄膜厚度均匀性的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711090980.9

申请日：

2017-11-08

公开(公告)号：

CN107607072B

公开(公告)日：

2018-01-19

发明(设计)人：

叶为标李聪聂昌达闫文韬

申请人：

申请人地址：

411105 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘27号

IPC主分类号：

G01B2108

IPC分类号：

G01N2572

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-19	公开	公开
2019-10-11	授权	授权
2018-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/08 申请日:20171108

共 50 条

[1]

一种薄膜厚度均匀性检测装置 [P].

姜冠琳 ;

潘阔 .

中国专利 :CN221859492U ,2024-10-18

[2]

一种薄膜厚度均匀性检测系统 [P].

熊娟 ;

龙梦龙 ;

董明建 ;

张东煜 ;

王天赋 ;

钱波 ;

王斌 ;

宋晓晓 ;

周海霞 .

中国专利 :CN213022870U ,2021-04-20

[3]

用于薄膜厚度均匀性的检测系统 [P].

刘庆华 .

中国专利 :CN216189623U ,2022-04-05

[4]

提高薄膜厚度均匀性的方法 [P].

田守卫 ;

胡海天 ;

章盟狄 .

中国专利 :CN112921305A ,2021-06-08

[5]

改善薄膜厚度均匀性的方法 [P].

邢宏源 ;

巴文民 ;

管兴东 .

中国专利 :CN119913490A ,2025-05-02

[6]

基于红外热成像的涂层厚度检测方法 [P].

白利兵 ;

何棱云 ;

于海超 ;

程玉华 ;

田露露 ;

张睿恒 ;

陈雪 .

中国专利 :CN108413882A ,2018-08-17

[7]

一种热栅格扫描热波无损薄膜厚度检测方法 [P].

张伟旭 ;

曲直 ;

张家宬 .

中国专利 :CN110006353B ,2019-07-12

[8]

提高薄膜厚度均匀性的制备方法 [P].

屈鹏霏 ;

金鹏 ;

周广迪 ;

王镇 ;

王占国 .

中国专利 :CN114775043A ,2022-07-22

[9]

提高薄膜厚度均匀性的制备方法 [P].

屈鹏霏 ;

金鹏 ;

周广迪 ;

王镇 ;

王占国 .

中国专利 :CN114775043B ,2024-06-25

[10]

一种薄膜厚度均匀性的改善装置 [P].

黄永绍 ;

杨彪 .

中国专利 :CN215095596U ,2021-12-10

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