用于带电粒子束的多极型偏转器和带电粒子束成像设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910803416.X

申请日：

2019-08-28

公开(公告)号：

CN110660634B

公开(公告)日：

2020-01-07

发明(设计)人：

孟庆浪孙伟强赵焱

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号院12号楼5层

IPC主分类号：

H01J37147

IPC分类号：

H01J3726 H01J3728

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王益

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-07	公开	公开
2020-02-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/147 申请日:20190828
2022-05-06	授权	授权

共 50 条

[1]

用于校准带电粒子束设备的偏转器的方法，以及带电粒子束设备 [P].

阿克塞尔·温泽尔 ;

罗伯特·特劳纳 ;

路德威格·里德尔 ;

伯纳德·G·穆勒 .

美国专利 :CN119213525A ,2024-12-27

[2]

带电粒子束成像装置 [P].

孙伟强 .

中国专利 :CN119314844B ,2025-04-11

[3]

带电粒子束偏转装置 [P].

龙庆晓 ;

高田裕也 ;

石原骏 .

日本专利 :CN118922228A ,2024-11-08

[4]

带电粒子束成像装置 [P].

孙伟强 .

中国专利 :CN119314844A ,2025-01-14

[5]

影响带电粒子束的方法，多极装置，以及带电粒子束设备 [P].

B·J·库克 ;

B·沃勒特 ;

D·温克勒 .

德国专利 :CN119993811A ,2025-05-13

[6]

带电粒子束设备 [P].

卢志钢 ;

曹峰 ;

姚一帆 ;

纪伟 ;

徐强 ;

孙飞 ;

徐涛 .

中国专利 :CN113035675A ,2021-06-25

[7]

带电粒子束透镜装置、带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置 [P].

阿部智彦 ;

小岛真一 .

中国专利 :CN107017142A ,2017-08-04

[8]

用于带电粒子束设备的偏转器、偏转系统、带电粒子束设备以及制造偏转器的方法 [P].

P·阿达麦茨 ;

R·齐默尔曼 .

德国专利 :CN120015596A ,2025-05-16

[9]

带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法 [P].

安田淳平 ;

涌井直人 .

日本专利 :CN115113489B ,2025-04-11

[10]

带电粒子束检查系统、带电粒子束检查方法 [P].

杜航 ;

横须贺俊之 ;

笹气裕子 ;

渡边康子 ;

木村爱美 .

日本专利 :CN118476004A ,2024-08-09

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