衬底搬送机器人及衬底检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680024813.1

申请日：

2016-04-21

公开(公告)号：

CN107534009B

公开(公告)日：

2018-01-02

发明(设计)人：

后藤博彦

申请人：

申请人地址：

日本兵库县

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

B25J906

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

张世俊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-02	公开	公开
2021-04-27	授权	授权
2018-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20160421

共 50 条

[1]

衬底搬送机器人及具备衬底搬送机器人的衬底处理装置 [P].

髙山祐一 ;

河原启之 ;

佐藤卓也 .

日本专利 :CN120072737A ,2025-05-30

[2]

衬底搬送机器人及衬底处理系统 [P].

后藤博彦 ;

马克·谭 ;

艾力克·张 ;

小野茂树 ;

北野真也 ;

曾明 .

中国专利 :CN108028218B ,2018-05-11

[3]

衬底搬送机器人及衬底搬送装置 [P].

芝田武士 .

中国专利 :CN108698222B ,2018-10-23

[4]

衬底搬送机器人及衬底处理系统 [P].

后藤博彦 .

中国专利 :CN107534007A ,2018-01-02

[5]

衬底搬送机器人及其运转方法 [P].

吉田雅也 ;

山口隆生 ;

田中佑治 ;

中原一 ;

阿比斯·阿修可·包瓦尼 ;

曾铭 ;

陈栩权 .

中国专利 :CN108604563B ,2018-09-28

[6]

衬底搬送机器人、衬底处理系统以及衬底搬送机器人的控制方法 [P].

谷口进一 ;

河原启之 .

日本专利 :CN120709207A ,2025-09-26

[7]

衬底搬送机器人及其运转方法 [P].

加藤烈 ;

仓田伊织 ;

斉藤雅行 ;

后藤博彦 .

中国专利 :CN106796907A ,2017-05-31

[8]

末端执行器及衬底搬送机器人 [P].

福岛崇行 ;

宮川大辉 .

中国专利 :CN106062943B ,2016-10-26

[9]

一种衬底搬送机器人及衬底处理系统 [P].

朱磊 .

中国专利 :CN211729188U ,2020-10-23

[10]

衬底输送机器人和使用该衬底输送机器人的衬底处理设备 [P].

玄俊镇 ;

宋炳奎 ;

金劲勋 ;

金龙基 ;

申良湜 ;

金苍乭 .

中国专利 :CN104851830A ,2015-08-19

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