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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-11-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2018-09-11 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/09 申请日:20070924 授权公告日:20130130 终止日期:20170924 |
| 2015-04-29 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101714380818 IPC(主分类):G03F 7/09 专利号:ZL2007800359756 变更事项:专利权人 变更前权利人:安智电子材料IP股份有限公司 变更后权利人:默克专利有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京 变更后权利人:德国达姆施塔特 登记生效日:20150409 |
| 2009-09-09 | 公开 | 公开 |
| 2013-10-02 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101662890945 IPC(主分类):G03F 7/09 专利号:ZL2007800359756 变更事项:专利权人 变更前权利人:AZ电子材料美国公司 变更后权利人:安智电子材料IP股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:美国新泽西 变更后权利人:日本东京 登记生效日:20130906 |
| 2013-01-30 | 授权 | 授权 |