表面检查设备及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510766110.3

申请日：

2015-11-11

公开(公告)号：

CN105588839A

公开(公告)日：

2016-05-18

发明(设计)人：

权五葰柳敏虎金敏贞姜泰旭宋升勇刘正根

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

王新华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-18	公开	公开
2018-05-29	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N 21/88 申请公布日:20160518

共 50 条

[1]

表面检查设备和方法 [P].

维克托·阿尔瓦雷斯 .

:CN120153245A ,2025-06-13

[2]

表面检查设备 [P].

藤森义彦 ;

石井裕和 .

中国专利 :CN101460833A ,2009-06-17

[3]

表面检查设备 [P].

大森健雄 ;

深泽和彦 .

中国专利 :CN101473219B ,2012-02-29

[4]

表面检查设备 [P].

堀内一宏 ;

有户立也 .

中国专利 :CN102175694A ,2011-09-07

[5]

表面检查设备 [P].

渡部贵志 .

中国专利 :CN101484775A ,2009-07-15

[6]

光学检查设备及光学检查方法 [P].

李坤原 .

中国专利 :CN107314788B ,2024-01-26

[7]

光学检查设备及光学检查方法 [P].

李坤原 .

中国专利 :CN107314788A ,2017-11-03

[8]

表面检查的方法和设备 [P].

矶崎久 ;

山崎伦敬 ;

吉川浩 ;

高濑壮宏 ;

志田裕 ;

岩阳一郎 .

中国专利 :CN1272844C ,2004-05-19

[9]

内表面检查设备 [P].

野村昭 ;

天野阳一 .

中国专利 :CN204924982U ,2015-12-30

[10]

电极表面检查设备 [P].

高弘在 ;

金泰营 ;

洪昇均 .

韩国专利 :CN117480384A ,2024-01-30

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