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一种光刻胶供给装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010098934.9
申请日：
2020-02-18
公开(公告)号：
CN113341654A
公开(公告)日：
2021-09-03
发明(设计)人：
董必志
申请人：
申请人地址：
230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号：
G03F716
IPC分类号：
代理机构：
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260
代理人：
成丽杰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-03 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20200218 |