蒸发镀膜设备、蒸发镀膜系统及蒸发镀膜控制方法

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专利类型
发明
申请号
CN201910042940.X
申请日
2019-01-18
公开(公告)号
CN111455342A
公开(公告)日
2020-07-28
发明(设计)人
王正安 郭逦达 丁友谊 赵树利
申请人
申请人地址
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
IPC主分类号
C23C1454
IPC分类号
C23C1424
代理机构
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人
马永芬
法律状态
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共 50 条
[1]
蒸发镀膜设备和蒸发镀膜系统 [P]. 
王正安 ;
郭逦达 ;
丁友谊 ;
赵树利 .
中国专利 :CN210176949U ,2020-03-24
[2]
蒸发镀膜装置及蒸发镀膜系统 [P]. 
陆鹏 ;
吴迪 ;
王健波 ;
吴远武 ;
汪林冲 .
中国专利 :CN118147582A ,2024-06-07
[3]
蒸发源结构及蒸发镀膜设备 [P]. 
朱颖晖 ;
王徐亮 ;
祝晓钊 .
中国专利 :CN119061357A ,2024-12-03
[4]
蒸发镀膜设备 [P]. 
王浩 ;
王潜 .
中国专利 :CN217351511U ,2022-09-02
[5]
蒸发镀膜用冷却挡板及蒸发镀膜设备 [P]. 
臧世伟 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN221854757U ,2024-10-18
[6]
蒸发镀膜用冷却挡板及蒸发镀膜设备 [P]. 
臧世伟 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN222008022U ,2024-11-15
[7]
蒸发镀膜装置及镀膜系统 [P]. 
王君 ;
郭爱云 ;
汪友林 .
中国专利 :CN109267033A ,2019-01-25
[8]
蒸发镀膜装置及镀膜系统 [P]. 
王君 ;
郭爱云 ;
汪友林 .
中国专利 :CN209323007U ,2019-08-30
[9]
蒸发源及蒸发镀膜设备 [P]. 
詹勇军 ;
臧世伟 .
中国专利 :CN119615069A ,2025-03-14
[10]
蒸发源及蒸发镀膜设备 [P]. 
臧世伟 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN223201897U ,2025-08-08