化学机械研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200420121904.1

申请日：

2004-12-29

公开(公告)号：

CN2763968Y

公开(公告)日：

2006-03-08

发明(设计)人：

陈承先黄雅仪高铭祥林义雄郭祖宽

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路八号

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

B24B3704

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所

代理人：

刘新宇;池吉庆

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-04	专利权的终止	专利权有效期届满号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101600324343 IPC(主分类):H01L 21/304 专利号:ZL2004201219041 申请日:20041229 授权公告日:20060308 期满终止日期:20141229
2006-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

化学机械研磨装置以及研磨方法 [P].

陈承先 ;

黄雅仪 ;

高铭祥 ;

林义雄 ;

郭祖宽 .

中国专利 :CN1661780A ,2005-08-31

[2]

化学机械研磨装置 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN207724094U ,2018-08-14

[3]

化学机械研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203282330U ,2013-11-13

[4]

化学机械研磨装置 [P].

金旻成 ;

任桦爀 .

中国专利 :CN205237796U ,2016-05-18

[5]

化学机械研磨装置 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN204149005U ,2015-02-11

[6]

化学机械研磨装置 [P].

赵珳技 ;

安俊镐 ;

崔光洛 .

中国专利 :CN206296791U ,2017-07-04

[7]

化学机械研磨装置 [P].

刘博佳 ;

王海宽 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208744532U ,2019-04-16

[8]

化学机械研磨装置 [P].

徐亮 .

中国专利 :CN216781432U ,2022-06-21

[9]

化学机械研磨装置 [P].

孔祥涛 ;

陈建维 ;

张旭升 .

中国专利 :CN103273413A ,2013-09-04

[10]

化学机械研磨装置 [P].

胡宗福 ;

刘俊良 .

中国专利 :CN201439182U ,2010-04-21

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