共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
曝光方法、曝光机及计算机可读存储介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011499334.X
申请日：
2020-12-16
公开(公告)号：
CN112462578A
公开(公告)日：
2021-03-09
发明(设计)人：
郭党委
胡雅文
吴明仓
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市松山湖园区研发一路1号104房
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
张艳美;刘光明
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-09 | 公开 | 公开 |
| 2021-03-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20201216 |