等离子体处理装置及等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02805878.X

申请日：

2002-03-19

公开(公告)号：

CN1278392C

公开(公告)日：

2004-05-05

发明(设计)人：

安藤真高桥応明八坂保能石井信雄

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

王怡

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101659967931 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利号:ZL02805878X 申请日:20020319 授权公告日:20061004 终止日期:20150319
2004-07-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-05-05	公开	公开
2006-10-04	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

平山昌树 ;

大见忠弘 .

中国专利 :CN102057465A ,2011-05-11

[2]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

吉川润 ;

西塚哲也 ;

佐佐木胜 .

中国专利 :CN101521980A ,2009-09-02

[3]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

平山昌树 ;

大见忠弘 .

中国专利 :CN102057760A ,2011-05-11

[4]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

冈山信幸 ;

松本直树 .

中国专利 :CN102217044A ,2011-10-12

[5]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

平山昌树 ;

大见忠弘 .

中国专利 :CN102760633B ,2012-10-31

[6]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

平山昌树 ;

大见忠弘 .

中国专利 :CN102057762A ,2011-05-11

[7]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

松浦广行 ;

安藤武 .

中国专利 :CN113948362A ,2022-01-18

[8]

等离子体处理装置、等离子体处理方法 [P].

石川拓 ;

户部康弘 .

中国专利 :CN101622698B ,2010-01-06

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

池田太郎 .

中国专利 :CN1554114A ,2004-12-08

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

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