压电膜的制造方法、基板和压电膜的层叠结构、压电激励器及其制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN200510058844.2
申请日
2005-03-30
公开(公告)号
CN100476033C
公开(公告)日
2005-10-05
发明(设计)人
安井基博 明渡纯
申请人
申请人地址
日本爱知县
IPC主分类号
C23C2404
IPC分类号
H01L4122 H01L4108
代理机构
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人
龙 淳
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
具有压电膜的层叠基板、层叠基板的制造方法和压电元件 [P]. 
田中康教 ;
柴田宪治 ;
黑田稔显 ;
渡边和俊 .
日本专利 :CN120225033A ,2025-06-27
[2]
层叠压电膜、器件以及层叠压电膜的制造方法 [P]. 
今治诚 ;
本村百绘 .
日本专利 :CN119138127A ,2024-12-13
[3]
压电膜层叠结构及其制造方法 [P]. 
勅使河原明彦 ;
榎本哲也 .
日本专利 :CN114843392B ,2025-09-26
[4]
压电膜层叠结构及其制造方法 [P]. 
勅使河原明彦 ;
榎本哲也 .
中国专利 :CN114843392A ,2022-08-02
[5]
压电膜、其制造方法、压电膜层叠体、其制造方法 [P]. 
勅使河原明彦 ;
加纳一彦 ;
酒井贤一 .
中国专利 :CN111742421A ,2020-10-02
[6]
压电膜、其制造方法、压电膜层叠体、其制造方法 [P]. 
勅使河原明彦 ;
加纳一彦 ;
酒井贤一 .
日本专利 :CN111742421B ,2024-04-05
[7]
压电膜及其制造方法 [P]. 
表研次 ;
鲛泽剑 ;
大东弘二 .
中国专利 :CN107534080B ,2018-01-02
[8]
压电膜及其制造方法 [P]. 
表研次 ;
鲛泽剑 ;
大东弘二 .
中国专利 :CN110462859A ,2019-11-15
[9]
压电膜器件、换能器和压电膜器件的制造方法 [P]. 
铃木达也 .
日本专利 :CN119486571A ,2025-02-18
[10]
制造膜或压电膜的方法 [P]. 
安井基博 ;
明渡纯 ;
马场创 .
中国专利 :CN100540740C ,2005-10-05