抛光用组合物及抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910165248.2

申请日：

2005-03-22

公开(公告)号：

CN101638556B

公开(公告)日：

2010-02-03

发明(设计)人：

吴俊辉河村笃纪松田刚平野达彦酒井谦儿堀和伸

申请人：

申请人地址：

日本国爱知县西春日井郡西枇杷岛町地领2丁目1番地1

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

代理机构：

上海市华诚律师事务所 31210

代理人：

涂勇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-03-24	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-02-03	公开	公开
2012-12-26	授权	授权

共 50 条

[1]

抛光用组合物及抛光方法 [P].

吴俊辉 ;

河村笃纪 ;

松田刚 ;

平野达彦 ;

酒井谦儿 ;

堀和伸 .

中国专利 :CN1837320A ,2006-09-27

[2]

抛光用组合物及其抛光方法 [P].

吴俊辉 ;

河村笃纪 ;

松田刚 ;

平野达彦 ;

酒井谦儿 ;

堀和伸 .

中国专利 :CN1837319B ,2006-09-27

[3]

抛光用组合物及抛光方法 [P].

三轮俊博 .

中国专利 :CN1670115A ,2005-09-21

[4]

抛光用组合物及抛光方法 [P].

伊藤隆 ;

木村佳央 .

中国专利 :CN1939991A ,2007-04-04

[5]

抛光用组合物及抛光方法 [P].

石原直幸 .

中国专利 :CN1670116B ,2005-09-21

[6]

抛光组合物及抛光方法 [P].

玉井一诚 ;

大和泰之 .

中国专利 :CN100516159C ,2005-09-21

[7]

抛光用组合物及抛光方法 [P].

河田研治 ;

堀田和利 .

中国专利 :CN1900192A ,2007-01-24

[8]

抛光用组合物以及抛光方法 [P].

野口直人 ;

树神和利 ;

庭野裕 .

中国专利 :CN101130667A ,2008-02-27

[9]

抛光用组合物以及使用该抛光用组合物的抛光方法 [P].

高桥修平 ;

森永均 .

中国专利 :CN102190961A ,2011-09-21

[10]

抛光用组合物和抛光方法 [P].

上村泰英 .

中国专利 :CN101130668B ,2008-02-27

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