一种提高金刚石衬底光学透过率的方法

被引：0

申请号：

CN202211212567.6

申请日：

2022-09-30

公开(公告)号：

CN115491637A

公开(公告)日：

2022-12-20

发明(设计)人：

吴艳霞于盛旺汪利敏刘颖高洁黑鸿君王永胜

申请人：

申请人地址：

030024 山西省太原市迎泽西大街79号

IPC主分类号：

C23C1402

IPC分类号：

C23C1408 C23C1424 C23C1434 C23C1435 G02B1113

代理机构：

太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111

代理人：

张宏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-20	公开	公开
2023-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/02 申请日:20220930

共 50 条

[1]

金刚石衬底的制备方法、金刚石衬底及半导体器件 [P].

刘新科 ;

钟智祥 ;

范康凯 ;

李一阳 ;

陈春燕 ;

黎晓华 ;

王铠丰 ;

何军 ;

刘河洲 .

中国专利 :CN121006616A ,2025-11-25

[2]

金刚石衬底加工方法 [P].

王镇 ;

曹繁秋 ;

韩煦 ;

金鹏 ;

王占国 ;

马南阳 ;

李云华 ;

陈健 .

中国专利 :CN120674302A ,2025-09-19

[3]

一种高光学透过率CVD多晶金刚石厚膜的制备方法 [P].

曹博伦 ;

徐帅 ;

吴晓磊 ;

赵延军 ;

周文涛 ;

刘晖 ;

闫建明 ;

康世豪 ;

闫宁 .

中国专利 :CN117535647A ,2024-02-09

[4]

一种晶圆级金刚石衬底的抛光方法和晶圆级金刚石衬底 [P].

林秋宝 ;

黄雪润 ;

吴波 ;

张星 .

中国专利 :CN113178382A ,2021-07-27

[5]

金刚石衬底的筛选方法 [P].

马南阳 ;

李云华 ;

陈健 ;

王镇 ;

曹繁秋 ;

金鹏 ;

王占国 .

中国专利 :CN120214231A ,2025-06-27

[6]

一种带光学增透膜的金刚石制备方法 [P].

魏俊俊 ;

黄亚博 ;

陈良贤 ;

刘金龙 ;

李成明 ;

高旭辉 .

中国专利 :CN112376034B ,2021-02-19

[7]

金刚石复合衬底、金刚石复合衬底的制备方法及GaN器件 [P].

梁剑波 .

中国专利 :CN120388885A ,2025-07-29

[8]

一种金刚石衬底GaN器件背孔制备的方法 [P].

吴立枢 ;

孔月婵 ;

陈堂胜 .

中国专利 :CN113808948A ,2021-12-17

[9]

金刚石单晶衬底的制造方法和金刚石单晶衬底 [P].

目黑贵一 ;

山本喜之 ;

今井贵浩 .

中国专利 :CN1840472B ,2006-10-04

[10]

一种金刚石用研磨液及金刚石衬底的研磨方法 [P].

王旗 ;

王立凤 ;

刘硕 ;

朱灿 ;

马立兴 ;

张林 ;

王凯 ;

薛港生 ;

李印 ;

邵殿领 ;

隋晓明 .

中国专利 :CN118165701B ,2024-07-26

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