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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2007-04-25 | 授权 | 授权 |
| 2005-09-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2016-08-17 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737224164 IPC(主分类):C23F 11/00 专利号:ZL028294742 变更事项:专利权人 变更前:第一贝可勒尔控制株式会社 变更后:第一贝可勒尔控制株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京 变更后:日本东京都千代田区丸之内三丁目4番2号 |
| 2011-03-30 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101078086964 IPC(主分类):C23F 11/00 专利号:ZL028294742 变更事项:专利权人 变更前:多米尼克技术株式会社 变更后:多米尼克技术株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本名古屋 |
| 2011-02-02 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101065970155 IPC(主分类):C23F 11/00 专利号:ZL028294742 变更事项:专利权人 变更前:普莱美特技术株式会社 变更后:多米尼克技术株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本东京都 |
| 2005-08-03 | 公开 | 公开 |
| 2014-01-29 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101687960357 IPC(主分类):C23F 11/00 专利号:ZL028294742 变更事项:专利权人 变更前权利人:多米尼克技术株式会社 变更后权利人:第一贝可勒尔控制株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本名古屋 变更后权利人:日本东京 登记生效日:20140102 |