一种用于密度测量的电容微加工超声传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110156060.9

申请日：

2011-06-10

公开(公告)号：

CN102353610A

公开(公告)日：

2012-02-15

发明(设计)人：

赵立波李支康张桂铭黄恩泽王晓坡赵玉龙蒋庄德刘志刚

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01N900

IPC分类号：

B81B300 B81C100

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

徐文权

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101212137145 IPC(主分类):G01N 9/00 专利申请号:2011101560609 申请日:20110610
2014-04-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101699833139 IPC(主分类):G01N 9/00 专利申请号:2011101560609 申请公布日:20120215
2012-02-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种电容式微加工超声传感器及其制备与应用方法 [P].

赵立波 ;

李支康 ;

蒋庄德 ;

赵玉龙 ;

苑国英 .

中国专利 :CN102620878A ,2012-08-01

[2]

微电容超声传感器 [P].

苗静 ;

沈文江 ;

熊继军 ;

薛晨阳 .

中国专利 :CN205491145U ,2016-08-17

[3]

微电容超声传感器 [P].

苗静 ;

沈文江 ;

熊继军 ;

薛晨阳 .

中国专利 :CN106998522A ,2017-08-01

[4]

驻极体电容式超声传感器及其制备方法 [P].

王小青 ;

宁瑾 ;

俞育德 ;

魏清泉 ;

刘文文 ;

刘元杰 ;

蒋莉娟 .

中国专利 :CN105578368A ,2016-05-11

[5]

一种梳齿式CMUTs流体密度传感器及其制备方法 [P].

赵立波 ;

李杰 ;

李支康 ;

卢德江 ;

赵一鹤 ;

张家旺 ;

徐廷中 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN108982291B ,2018-12-11

[6]

电容式超声传感器及其制备方法 [P].

俞挺 ;

于峰崎 .

中国专利 :CN102178545A ,2011-09-14

[7]

一种MEMS催化燃烧传感器及其加工方法 [P].

王宣诏 .

中国专利 :CN109970022A ,2019-07-05

[8]

一种MEMS催化燃烧传感器及其加工方法 [P].

王宣诏 .

中国专利 :CN109970022B ,2024-07-16

[9]

制造微加工电容式超声传感器的表面微机械工艺 [P].

焦苏埃·卡利亚诺 ;

亚历山德罗·卡龙蒂 ;

伊莲娜·西安希 ;

维托里奥·富格李耶第 ;

安东尼奥·米诺第 ;

亚里山德罗·能希奥尼 ;

马西莫·帕帕拉尔多 .

中国专利 :CN101262958A ,2008-09-10

[10]

一种超声传感器及其测量精度的方法 [P].

吴杰 ;

江宏伟 ;

沈绍宾 .

中国专利 :CN108254001A ,2018-07-06

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