处理液供给方法、处理液供给装置和存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310467501.6

申请日：

2013-10-09

公开(公告)号：

CN103706523A

公开(公告)日：

2014-04-09

发明(设计)人：

吉田勇一内藤亮一郎古庄智伸

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B05C1110

IPC分类号：

B05C502 H01L21027

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101610184908 IPC(主分类):B05C 11/10 专利申请号:2013104675016 申请日:20131009
2014-04-09	公开	公开
2017-03-01	授权	授权

共 50 条

[1]

处理液供给装置、处理液供给方法和存储介质 [P].

风间晃太 .

日本专利 :CN120487578A ,2025-08-15

[2]

处理液供给装置、处理液供给方法以及存储介质 [P].

矢野英嗣 .

中国专利 :CN115513089A ,2022-12-23

[3]

处理液供给方法和处理液供给装置 [P].

志手英男 ;

木村一彦 ;

汤本知行 .

中国专利 :CN106024579A ,2016-10-12

[4]

处理液供给装置、设备单元、处理液供给方法和存储介质 [P].

志手英男 ;

吉原孝介 ;

吉田勇一 ;

吉原健太郎 .

中国专利 :CN107470051A ,2017-12-15

[5]

处理液供给装置和处理液供给方法 [P].

高栁康治 ;

吉原孝介 ;

寺下裕一 ;

古庄智伸 ;

佐佐卓志 .

中国专利 :CN104511408B ,2015-04-15

[6]

处理液供给方法和处理液供给装置 [P].

吉田勇一 ;

内藤亮一郎 ;

古庄智伸 .

中国专利 :CN106583175B ,2017-04-26

[7]

处理液供给装置和处理液供给方法 [P].

寺下裕一 ;

吉原孝介 ;

高柳康治 ;

古庄智伸 ;

佐佐卓志 .

中国专利 :CN104517814A ,2015-04-15

[8]

处理液供给装置和处理液供给方法 [P].

大久保敬弘 ;

榎木田卓 ;

古庄智伸 .

中国专利 :CN110416119A ,2019-11-05

[9]

处理液供给装置和处理液供给方法 [P].

安达健二 .

日本专利 :CN120937113A ,2025-11-11

[10]

处理液供给装置和处理液供给方法 [P].

佐佐卓志 ;

柴田大树 .

中国专利 :CN104698758B ,2015-06-10

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