一种真空镀膜用转架装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202021713495.X
申请日
2020-08-17
公开(公告)号
CN213113484U
公开(公告)日
2021-05-04
发明(设计)人
薛大伟 张少斌
申请人
申请人地址
213022 江苏省常州市汉江路398号
IPC主分类号
C23C1450
IPC分类号
代理机构
常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231
代理人
毛姗
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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