扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610443918.2
申请日
2016-06-20
公开(公告)号
CN106092302A
公开(公告)日
2016-11-09
发明(设计)人
李坤 陈永权 赵建科 薛勋 刘尚阔 曹昆 段亚轩 李晶 王争锋 昌明
申请人
申请人地址
710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
IPC主分类号
G01H900
IPC分类号
代理机构
西安智邦专利商标代理有限公司 61211
代理人
陈广民
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
扫描振镜振动参数的测量系统 [P]. 
李坤 ;
陈永权 ;
赵建科 ;
薛勋 ;
刘尚阔 ;
曹昆 ;
段亚轩 ;
李晶 ;
王争锋 ;
昌明 .
中国专利 :CN205785496U ,2016-12-07
[2]
MEMS扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法 [P]. 
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王鹏 .
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[3]
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