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一种新型的太阳能电池生产工艺用硅片快速修边装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821632667.3
申请日：
2018-10-09
公开(公告)号：
CN211957600U
公开(公告)日：
2020-11-17
发明(设计)人：
陈声镖
申请人：
申请人地址：
362100 福建省泉州市惠安县螺阳镇金山村墩后102-1号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2168
H01L3118
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-17 | 授权 | 授权 |
| 2022-09-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181009 授权公告日:20201117 终止日期:20211009 |