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一种光刻胶喷涂设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921744452.5
申请日：
2019-10-17
公开(公告)号：
CN210876004U
公开(公告)日：
2020-06-30
发明(设计)人：
佟新廷
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市张浦镇商秧路999号161室
IPC主分类号：
B05B1706
IPC分类号：
B05B704
G03F716
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-30 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B05B 17/06 申请日:20191017 授权公告日:20200630 终止日期:20211017 |
| 2020-06-30 | 授权 | 授权 |