一种薄膜传感器用复合绝缘层及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610524876.5

申请日：

2016-07-04

公开(公告)号：

CN105970168B

公开(公告)日：

2016-09-28

发明(设计)人：

赵晓辉李海涛蒋洪川张万里

申请人：

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1430 C23C1406 C23C1408 C23C1458 G01D2102

代理机构：

电子科技大学专利中心 51203

代理人：

吴姗霖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101684691061 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2016105248765 申请日:20160704
2016-09-28	公开	公开
2020-06-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20160704 授权公告日:20180727 终止日期:20190704
2018-07-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种薄膜传感器用复合绝缘层及其制备方法 [P].

蒋洪川 ;

雷康 ;

王洪敏 ;

赵晓辉 ;

蒋书文 ;

张万里 .

中国专利 :CN107012425B ,2017-08-04

[2]

一种高温薄膜传感器用抗热冲击复合绝缘层及其制备方法 [P].

赵晓辉 ;

刘洋 ;

熊杰 ;

蒋洪川 ;

张万里 .

中国专利 :CN109536892B ,2019-03-29

[3]

一种C/SiC复合材料基底薄膜传感器用绝缘层及其制备方法 [P].

赵晓辉 ;

裴伟钦 ;

蒋洪川 ;

张万里 .

中国专利 :CN116949428B ,2025-09-30

[4]

一种带复合绝缘层的金属基薄膜传感器及其制备方法 [P].

赵晓辉 ;

王亦然 ;

杨柯 ;

蒋书文 ;

蒋洪川 ;

熊杰 ;

张万里 .

中国专利 :CN104726862A ,2015-06-24

[5]

薄膜传感器绝缘层的制备方法及设备 [P].

谭秋林 ;

董和磊 ;

张磊 ;

牛艳艳 .

中国专利 :CN113663890A ,2021-11-19

[6]

发动机叶片薄膜传感器用高温绝缘层及其制备方法 [P].

张浩 ;

余浪 ;

周国方 ;

丁玎 ;

何峰 ;

曾庆平 .

中国专利 :CN113862673A ,2021-12-31

[7]

发动机叶片薄膜传感器用高温绝缘层及其制备方法 [P].

张浩 ;

余浪 ;

周国方 ;

丁玎 ;

何峰 ;

曾庆平 .

中国专利 :CN113862673B ,2024-04-26

[8]

C/SiC复合材料基底薄膜传感器用绝缘层及制备方法 [P].

乔正阳 ;

陆奕辰 ;

孙宇轩 ;

赵晓辉 .

中国专利 :CN120366779A ,2025-07-25

[9]

一种基于金属基底的薄膜传感器的绝缘层结构 [P].

曹建峰 .

中国专利 :CN112601390A ,2021-04-02

[10]

一种基于金属基底的薄膜传感器的绝缘层结构 [P].

曹建峰 .

中国专利 :CN112601390B ,2024-09-13

← 1 2 3 4 5 →