基于超透镜的激光直写装置及其激光直写方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811445709.7

申请日：

2018-11-29

公开(公告)号：

CN109343162A

公开(公告)日：

2019-02-15

发明(设计)人：

王津周常河贾伟谢永芳赵冬项长铖

申请人：

申请人地址：

510632 广东省广州市天河区黄埔大道西601号

IPC主分类号：

G02B518

IPC分类号：

G03F720 G02B500

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人：

陈燕娴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/18 申请日:20181129
2021-05-18	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B 5/18 申请公布日:20190215
2019-02-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于超透镜阵列的激光并行直写装置及方法 [P].

王津 ;

周常河 ;

贾伟 ;

谢永芳 .

中国专利 :CN112987511A ,2021-06-18

[2]

基于达曼光栅的激光直写装置 [P].

王津 ;

周常河 ;

贾伟 ;

谢永芳 ;

赵冬 ;

项长铖 .

中国专利 :CN109283805A ,2019-01-29

[3]

一种激光直写装置、激光直写方法及超构透镜 [P].

苏晨怡 ;

杨顺华 ;

杨臻垚 ;

施钧辉 .

中国专利 :CN118192179A ,2024-06-14

[4]

一种激光直写装置、激光直写方法及超构透镜 [P].

苏晨怡 ;

杨顺华 ;

杨臻垚 ;

施钧辉 .

中国专利 :CN118192179B ,2024-08-06

[5]

激光直写装置及激光直写方法 [P].

李德建 .

中国专利 :CN101135856B ,2008-03-05

[6]

多光束并行激光直写装置及其直写方法 [P].

朱锋 ;

周常河 ;

麻健勇 .

中国专利 :CN102621823A ,2012-08-01

[7]

基于微透镜阵列和DMD的高通量超分辨激光直写系统 [P].

匡翠方 ;

魏震 ;

杨顺华 ;

蒋登斌 ;

丁晨良 ;

刘旭 ;

徐良 ;

朱大钊 ;

张凌民 .

中国专利 :CN114326322B ,2024-02-13

[8]

基于微透镜阵列和DMD的高通量超分辨激光直写系统 [P].

匡翠方 ;

魏震 ;

杨顺华 ;

蒋登斌 ;

丁晨良 ;

刘旭 ;

徐良 ;

朱大钊 ;

张凌民 .

中国专利 :CN114326322A ,2022-04-12

[9]

激光直写对焦装置及激光直写对焦方法 [P].

朱鹏飞 ;

朱鸣 ;

浦东林 ;

李恒 ;

赵改娜 ;

吕帅 ;

邵仁锦 ;

张瑾 ;

袁晓峰 ;

陈林森 .

中国专利 :CN109407479B ,2019-03-01

[10]

激光直写装置 [P].

章晓旗 ;

徐佳滨 .

中国专利 :CN222167416U ,2024-12-13

← 1 2 3 4 5 →