一种准分子激光器光学系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021331706.3

申请日：

2020-07-08

公开(公告)号：

CN213278686U

公开(公告)日：

2021-05-25

发明(设计)人：

李慧赵江山范元媛谢婉露罗艳崔惠绒张立佳

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01S308

IPC分类号：

H01S3081 G03F720

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

刘广达

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种准分子激光器 [P].

李慧 ;

赵江山 ;

范元媛 ;

谢婉露 ;

罗艳 ;

崔惠绒 ;

张立佳 .

中国专利 :CN212968478U ,2021-04-13

[2]

一种垂直偏振态准分子激光器 [P].

李慧 ;

赵江山 ;

崔惠绒 ;

鲍洋 .

中国专利 :CN213367022U ,2021-06-04

[3]

一种准分子激光器 [P].

李慧 ;

赵江山 ;

范元媛 ;

沙鹏飞 ;

宋兴亮 ;

单耀莹 ;

王倩 ;

蔡茜玮 ;

张立佳 .

中国专利 :CN104934846A ,2015-09-23

[4]

一种准分子激光器电极结构及准分子激光器 [P].

沙鹏飞 ;

杨军红 ;

熊光亮 ;

祝桂鹏 ;

陈刚 ;

李祖友 ;

贺跃坡 ;

刘海东 ;

李一鸣 ;

刘斌 ;

冯泽斌 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN209169622U ,2019-07-26

[5]

一种准分子激光器电极结构及准分子激光器 [P].

沙鹏飞 ;

杨军红 ;

熊光亮 ;

祝桂鹏 ;

陈刚 ;

李祖友 ;

贺跃坡 ;

刘海东 ;

李一鸣 ;

刘斌 ;

冯泽斌 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN109411996A ,2019-03-01

[6]

准分子激光器复合腔 [P].

周翊 ;

单耀莹 ;

范元媛 ;

宋兴亮 ;

张立佳 ;

崔惠绒 ;

王宇 .

中国专利 :CN102969649A ,2013-03-13

[7]

准分子激光器放电腔的窗片结构及准分子激光器 [P].

赵江山 ;

郭馨 ;

王倩 ;

刘广义 ;

刘斌 ;

沙鹏飞 ;

詹绍通 ;

刘明雷 ;

胡馨月 ;

江锐 .

中国专利 :CN113872025A ,2021-12-31

[8]

一种准分子激光器 [P].

田赟 ;

朱能伟 .

中国专利 :CN221328313U ,2024-07-12

[9]

双腔准分子激光器气体控制方法、系统和准分子激光器 [P].

刘锴锋 ;

江锐 ;

梁赛 ;

冯泽斌 ;

徐向宇 .

中国专利 :CN117895314A ,2024-04-16

[10]

准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器 [P].

王吉亮 ;

冯泽斌 ;

江锐 ;

徐向宇 ;

梁赛 ;

陈佩佩 .

中国专利 :CN114865444A ,2022-08-05

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