一种掺杂氧化镧氧化镝的氮化硅制备工艺

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专利类型
发明
申请号
CN201010601242.8
申请日
2010-12-20
公开(公告)号
CN102531620A
公开(公告)日
2012-07-04
发明(设计)人
陈海*
申请人
申请人地址
215301 江苏省昆山市昆嘉路南、章基路东科技创业基地1号厂房102
IPC主分类号
C04B35584
IPC分类号
C04B3563 C04B35622
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种氧化镝加强的氮化硅制备工艺 [P]. 
陈海* .
中国专利 :CN102557651A ,2012-07-11
[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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